工業產生的廢氣污染成分復雜，而且不同的工業污染物的成分不但不同其濃度也是不一樣的，這部分的工業廢氣需進行處理之后才可以進行排放，如不處理直接排放將會對自然界造成一定的危害，在工業中廢氣處理設備常常用到的設備有光氧離子除臭設備，本文將針對于廢氣處理光氧離子除臭設備進行一個性能講解。 光氧離子除臭設備是一款能夠有效去除無機物、硫化氫、氨氣、揮發性有機物(VOC)、硫醇類等的主要污染物的工業廢氣，能夠去除各種的異味廢氣，其廢氣的除臭效率達到了99.9%以上。 設備的工作原理是利用設備發出的高熱動能與空氣中的分子發生碰撞產生一系列物化，這些化合物在經過反應之后會多種的活性自由基和生態氧，產生的活性自由基具有能在瞬間高速擊穿、蝕刻氧化微生物的蛋白質和核酸的功能。 光氧離子的除臭設備并不是適用于任何的污染物的工業廢氣，其中對于含有SO以及HCl等的刺激性臭味成分的工業廢氣在經過處理之后會產生二次的污染物，這個時候選擇的工藝則需要根據廢氣的污染物進行調整。
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